[发明专利]一种制造黑色矩阵涂膜的方法在审
| 申请号： | 201811308278.X | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109212907A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 娄季攀;葛建文;安暻源;李红岩 | 申请（专利权）人： | 江苏博砚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 蒋何栋 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造黑色矩阵涂膜的方法，包括将黑色碳颗粒溶于有机溶剂后通过泵泵入过滤器后再通过填充装置涂布于玻璃基板上，通过抽真空、预烘烤、显影后烧制干燥而成。本发明用多层膜叠加复合过滤，用光刻胶液在玻璃基板表面形成有序规则矩阵，并烘烤为最终矩阵形态，并涂层薄膜使defect情况大为改善，薄膜表面光滑，可最终优化彩色滤光片的性能，对显示效果的提高具有帮助作用。 | ||
| 搜索关键词： | 黑色矩阵 涂膜 玻璃基板表面 过滤器 彩色滤光片 薄膜表面 玻璃基板 叠加复合 光刻胶液 规则矩阵 填充装置 涂层薄膜 显示效果 有机溶剂 最终矩阵 抽真空 多层膜 碳颗粒 预烘烤 烘烤 泵泵 显影 光滑 烧制 制造 过滤 优化 帮助 | ||
【主权项】：
1.一种制造黑色矩阵涂膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）黑色碳颗粒溶解于有机溶剂中，搅拌混合形成黑色胶液；（2）将容器中的黑色胶液通过泵泵入过滤器后送入填充装置；（3）通过填充装置将黑色胶液涂布于透明玻璃基板上，形成具有矩阵形状的涂层；（4）通过VCD抽真空将透明玻璃基板上涂层中的80~85wt%的有机溶剂抽出，形成一层湿膜，使涂层中的剩余有机溶剂及黑色碳颗粒停留在玻璃基板表面；（5）将玻璃基板放于加热板上进行80~90℃、70~90s的预烘烤，控制湿膜中的剩余有机溶剂全部挥发出去形成干膜；（6）在干膜表面曝光，使规则的矩阵图形留在上面；（7）对矩阵图形进行显影，将未曝光部分洗去，形成预制矩阵；（8）将预制矩阵置于230℃的烘箱中，烧制30min，再于无尘室内干燥冷却至室温；（9）将冷却至室温的矩阵在设备下检测defect，控制defect在400以内，得到改进后的黑色矩阵涂膜。
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