[发明专利]一种电致发光器件的膜层分析方法有效
| 申请号： | 201811308434.2 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109374724B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘莹;彭于航;杜聪聪;范磊;范春芳;吴启;薛孝忠;秦浩然 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 杨广宇 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致发光器件的膜层分析方法，其中，电致发光器件包括：依次层叠的阳极层、电致发光材料层、以及含银阴极层。该膜层分析方法包括：提供具有离子溅射源和气体团簇离子源的质谱仪；利用离子溅射源从电致发光器件上剥离含银阴极层，得到暴露有电致发光材料层的分析样品；利用气体团簇离子源对暴露的电致发光材料层进行分析。通过离子溅射源对含银阴极层进行溅射剥离，其剥离过程稳定可控，能够有效且彻底地去除含银阴极层，避免了对电致发光材料层进行剥离。采用气体团簇离子源对暴露的电致发光材料层进行分析，不仅能够获得电致发光材料层的各膜层成分及位置，且不会对电致发光材料层造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电致发光 器件 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电致发光器件的膜层分析方法，所述电致发光器件包括：依次层叠的阳极层、电致发光材料层、以及含银阴极层，其特征在于，所述膜层分析方法包括：提供具有离子溅射源和气体团簇离子源的质谱仪；利用所述离子溅射源从所述电致发光器件上剥离所述含银阴极层，得到暴露有电致发光材料层的分析样品；利用所述气体团簇离子源对暴露的所述电致发光材料层进行分析。
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