[发明专利]一种等离子体淋浴器电源控制方法

摘要

本发明公开了一种等离子体淋浴器电源控制方法，稳定弧流和灯丝电流，以此获得最佳发射电流。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。灯丝电源(3)用来加热灯丝(7)，当灯丝温度达到电子的逸出功时，就会释电子；弧压电源(2)用来加速灯丝所释放的电子，向弧室(5)运动，最终在弧室上形成弧流；进入弧室的电子在磁铁(6)作用下轰击由气源(4)导入弧室的气体，用于产生使晶圆呈电中性的二次电子；电源控制器(1)是将弧压电源和灯丝电源进行闭环控制，通过将弧流与设定值A进行比较，将其偏差值再与设定值B进行比较来调节灯丝电流，直到弧流稳定在设定值A附近；同时使灯丝电流在限值设定值B以下，保护灯丝不会熔断。