[发明专利]一种直写式曝光机及其标定方法在审
| 申请号： | 201811312728.2 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109240047A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种直写式曝光机，可以提高基板的曝光位置精度，生产得到的基板上曝光图形的质量好，包括底座和设置在所述底座上的多轴运动平台，所述多轴运动平台上安装有基板台面，基板设置在所述基板台面上，所述多轴运动平台能够带动基板在三维空间中运动，所述底座上设置有龙门机构，曝光系统、对位系统设置在所述龙门机构上，其特征在于：所述基板台面一侧设置有对准组件，所述对准组件包括下吸盘相机，所述下吸盘相机的镜头朝上设置，所述下吸盘相机的镜头上方设置有透明标记层，所述透明标记层上设置有标定基础点，所述下吸盘相机的镜头的中心与所述标定基础点的中心重合，同时本发明还提供了该直写式曝光机的标定方法。 | ||
| 搜索关键词： | 下吸盘 标定 多轴运动 曝光机 相机 基板 直写 底座 对准组件 基板台面 透明标记 龙门 镜头 三维空间 朝上设置 对位系统 基板设置 曝光图形 曝光位置 曝光系统 中心重合 基板台 生产 | ||
【主权项】：
1.一种直写式曝光机，包括底座和设置在所述底座上的多轴运动平台，所述多轴运动平台上安装有基板台面，基板设置在所述基板台面上，所述多轴运动平台能够带动基板在三维空间中运动，所述底座上设置有龙门机构，曝光系统、对位系统设置在所述龙门机构上，其特征在于：所述基板台面一侧设置有对准组件，所述对准组件包括下吸盘相机，所述下吸盘相机的镜头朝上设置，所述下吸盘相机的镜头上方设置有透明标记层，所述透明标记层上设置有标定基础点，所述下吸盘相机的镜头的中心与所述标定基础点的中心重合。
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