[发明专利]金属互连清洗装置及清洗方法

摘要

一种金属互连清洗装置及清洗方法，清洗装置包括：纳米气泡摆臂，其端部设有纳米气泡喷头，纳米气泡喷头连接于纳米气泡发生器，纳米气泡发生器用于连接至辅助气体管路和超净水管路；清洁液摆臂，其端部设有清洁液喷头，清洁液喷头用于连接至清洁液管路；辅助气体摆臂，其端部设有辅助气体喷头，辅助气体喷头用于连接至辅助气体管路；纳米气泡摆臂、清洁液摆臂和辅助气体摆臂设置在清洗腔室内，且能够分别带动纳米气泡喷头、清洁液喷头、辅助气体喷头在安装于晶圆卡盘上的晶圆上方摆动。纳米气泡能够中和晶圆表面形成的颗粒残留物所带的正电荷，消除颗粒残留物的静电吸附作用，达到清洗晶圆表面的颗粒残留物的目的。

主权项

1.一种金属互连清洗装置，其特征在于，包括：/n纳米气泡摆臂，所述纳米气泡摆臂的端部设有纳米气泡喷头，所述纳米气泡喷头连接于纳米气泡发生器，所述纳米气泡发生器用于连接至辅助气体管路和超净水管路；/n清洁液摆臂，所述清洁液摆臂的端部设有清洁液喷头，所述清洁液喷头用于连接至清洁液管路；/n辅助气体摆臂，所述辅助气体摆臂的端部设有辅助气体喷头，所述辅助气体喷头用于连接至所述辅助气体管路；/n所述纳米气泡摆臂、所述清洁液摆臂和所述辅助气体摆臂设置在清洗腔室内，且能够分别带动所述纳米气泡喷头、所述清洁液喷头、所述辅助气体喷头在安装于晶圆卡盘上的晶圆上方摆动。/n