[发明专利]一种新型管式PECD石墨舟卡点在审
| 申请号： | 201811313809.4 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109244020A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 朱浩;万柳斌;李强强;黄秀富;洪磊 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/54 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 杨俊达 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型管式PECD石墨舟卡点，包括卡点底座、卡点轴以及卡点帽，所述卡点底座两侧对称固定有卡点轴，所述卡点轴远离卡点底座一端固定连接有卡点帽，所述卡点底座与卡点轴之间设置有卡点槽，所述卡点槽开设于卡点轴上；所述卡点帽设置为三角形，所述卡点槽开设为O型，且卡点槽分别开设于三角形的三个顶点处。本发明的O型卡点槽比起U型卡点槽，硅片能与石墨舟片贴合的更加紧密，极大减小硅片与卡点底座之间的空隙，从而减少特气流绕镀到硅片背面，为此可降低正膜边缘卡点绕镀印，改善正膜膜色，提高正膜的片内颜色的均匀性，进一步满足市场对高标准外观膜色的要求，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 卡点 底座 石墨舟 管式 硅片 底座两侧 对称固定 硅片背面 石墨舟片 顶点处 均匀性 膜边缘 外观膜 点槽 减小 膜膜 贴合 | ||
【主权项】：
1.一种新型管式PECD石墨舟卡点，包括卡点底座(1)、卡点轴(2)以及卡点帽(3)，所述卡点底座(1)两侧对称固定有卡点轴(2)，所述卡点轴(2)远离卡点底座(1)一端固定连接有卡点帽(3)，所述卡点底座(1)与卡点轴(2)之间设置有卡点槽(4)，所述卡点槽(4)开设于卡点轴(2)上，其特征在于：所述卡点帽(3)设置为三角形，所述卡点槽(4)开设为O型，且卡点槽(4)分别开设于三角形的三个顶点处。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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