[发明专利]一种基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机及制备方法

摘要

一种基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机及制备方法，所述纳米发电机包括一柔性基板，所述的柔性基板上自下而上依次制备有：1）银纳米线导电薄膜层，并构成由柔性基板/银纳米线导电层薄膜层复合的底电极；2）在所述柔性基板/银纳米线导电层薄膜层之上制备氧化锌薄膜层；3）在所述氧化锌薄膜层之上制备氧化锌纳米柱阵列，获得柔性的氧化锌纳米柱阵列；4）在所述氧化锌纳米柱阵列之上通过沉淀方法制备氧化亚铜薄膜层；5）在所述氧化亚铜薄膜层上制备空穴传输层/活性层保护层；6）在所述空穴传输层/活性层保护层上面制备金顶电极层；7）在底电极和金顶电极层两个金属电极之间用铜线连接。

主权项

1.一种基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机，它包括一柔性基板，其特征在于所述的柔性基板上自下而上依次制备有：1）银纳米线导电薄膜层，并构成由柔性基板/银纳米线导电层薄膜层复合的底电极；2）在所述柔性基板/银纳米线导电层薄膜层之上制备氧化锌薄膜层；3）在所述氧化锌薄膜层之上制备氧化锌纳米柱阵列，获得柔性的氧化锌纳米柱阵列；4）在所述氧化锌纳米柱阵列之上通过沉淀方法制备氧化亚铜薄膜层；5）在所述氧化亚铜薄膜层上制备空穴传输层/活性层保护层；6）在所述空穴传输层/活性层保护层上面制备金顶电极层；7）在底电极和金顶电极层两个金属电极之间用铜线连接，通过导电浆料将铜丝焊接，采用环氧树脂封装焊接处，封装后连接至载体，即完成基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机。