[发明专利]一种高精度的二维工作台Z轴误差补偿方法及系统有效
| 申请号： | 201811315192.X | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109443203B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陈良洲;甘润林;王祥阳;戴江 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;B25H1/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度的二维工作台Z轴误差补偿方法及系统，其中Z轴误差补偿装置包括电容位移传感器(602)及基准面(604)；该补偿装置配合二维工作台使用，其中，基准面(604)用于设置在二维工作台的目标区域上，电容位移传感器(602)用于通过检测该电容位移传感器(602)与基准面(604)之间的距离进而得出基准面(604)在Z轴方向上的位移，该位移即二维工作台导致的目标区域处的Z轴误差，从而基于该位移对二维工作台的Z轴误差进行补偿。本发明通过对Z轴误差补偿方法所依据的原理、测量Z轴误差的手段等进行改进，能够有效克服Z轴方向上的基准误差，实现对于热变形、导轨精度、安装误差等导致的Z轴方向误差的测量及补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 二维工作台 基准面 电容位移传感器 误差补偿 目标区域 测量 误差补偿装置 安装误差 补偿装置 方向误差 基准误差 热变形 导轨 检测 配合 改进 | ||
【主权项】：
1.一种高精度二维工作台系统，其特征在于，包括底座(1)，以及位于该底座(1)上的X轴运动模块(2)、Y轴运动模块(3)、共运动平面(4)、Z轴误差补偿组件(6)和载物台(7)，所述Y轴运动模块(3)和所述载物台(7)均位于所述共运动平面(4)上，所述X轴运动模块(2)用于带动所述共运动平面(4)及其上的所述Y轴运动模块(3)和所述载物台(7)沿X轴方向移动，所述Y轴运动模块(3)用于带动所述载物台(7)沿Y轴方向移动，所述X轴运动模块(2)和所述Y轴运动模块(3)用于带动所述载物台(7)在同一运动平面内移动；所述Z轴误差补偿组件(6)包括电容位移传感器(602)及基准面(604)，所述电容位移传感器(602)安装于所述底座(1)上，所述基准面(604)设置在所述载物台(7)的底面上，所述电容位移传感器(602)用于通过检测该电容位移传感器(602)与所述基准面(604)之间的距离进而得出所述基准面(604)在Z轴方向上的位移，该位移即所述载物台(7)的Z轴误差，从而能够基于该位移对所述载物台(7)的Z轴误差进行补偿，实现能够补偿Z轴误差的高精度二维工作台。
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