[发明专利]基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器制作方法有效
| 申请号： | 201811315399.7 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109596243B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘铁根;王双;江俊峰;于迅;刘琨;张学智;吴志洋;王润东 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;B23K26/362 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器及其制作方法，该传感器结构包括蓝宝石光纤(1)、石英光纤(5)及连接这两种光纤的异质光纤熔接点(6)，所述蓝宝石光纤(1)尾端具有通过飞秒激光刻蚀加工的法珀微腔(2)，法珀微腔(2)所具有的第一反射面(3)和第二反射面(4)产生的两束反射光发生干涉且产生干涉信号(11)；当所处的环境温度发生变化时，所述法珀微腔(2)的腔长和材料折射率发生变化，两束反射光之间的光程差随之发生变化，从而导致干涉信号(11)的变化；通过解调干涉信号得到法珀光程差，进而得到被测温度。本发明具有理论创新性，尺寸小、环境适应力强的特点，可用于狭窄测量环境下的高温精确传感。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 刻蚀 蓝宝石 光纤 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器，其特征在于，该传感器结构包括蓝宝石光纤(1)、石英光纤(5)及连接这两种光纤的异质光纤熔接点(6)，所述蓝宝石光纤(1)尾端具有通过飞秒激光刻蚀加工的法珀微腔(2)，法珀微腔(2)所具有的第一反射面(3)和第二反射面(4)产生的两束反射光发生干涉且产生干涉信号(11)；当所处的环境温度发生变化时，所述法珀微腔(2)的腔长和材料折射率发生变化，两束反射光之间的光程差随之发生变化，从而导致干涉信号(11)的变化；通过解调干涉信号得到法珀光程差，进而得到被测温度。
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