[发明专利]一种激光加工装置及方法有效
| 申请号： | 201811315480.5 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109434278B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李忠乾;辛焕寅;李福海;费康杰;周黎明;李海峰;陈红;黄浩;张红江;柳啸;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人： | 汪琳琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于激光加工技术领域，公开了一种激光加工装置，包括：激光器,用于发射激光束；分光元器件,用于将所述激光器射出的激光束分成N(N＝2、3、4……)束呈发散角度且沿与所述激光束的传播方向垂直的方向等间距分布的子激光束；激光调整组件,用于将呈发散角度的子激光束转化成呈收缩角度的子激光束,使得所述呈收缩角度的子激光束能够进入所述聚焦镜；聚焦镜,用于将射入的多个子激光束聚焦后等间距射向待加工工件,对待加工工件进行加工。还公开了一种激光加工方法，本申请提供的方法和装置，与现有的单轨道加工相比，实现了多轨道加工，极大的提高了激光加工效率，以激光切割晶元为例，一次可以切割多条切割道，加工效率成倍提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光器,用于发射激光束；分光元器件,设置于所述激光束的输出光路上，用于将所述激光器射出的激光束分成N(N＝2、3、4……)束呈发散角度且沿与所述激光束的传播方向垂直的方向等间距分布的子激光束；激光调整组件,设置于所述分光元器件的输出光路上，用于将呈发散角度的子激光束转化成呈收缩角度的子激光束；聚焦镜,设置于所述激光调整组件的输出光路上，用于将射入的呈收缩角度的N束子激光束聚焦后等间距射向待加工工件,对所述待加工工件进行加工。
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