[发明专利]全息光栅周期高精度在线测量与调节装置在审
| 申请号： | 201811318508.0 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109374259A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 贾伟;周常河;王津;项长铖;谢永芳;赵冬;薄启宇 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00;G02B5/32 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈燕娴 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，该装置包括用于产生并调节光栅场的双光束全息干涉光路，用于产生同轴干涉的参考光栅和采集干涉信号的光电探测器，以及用于扫描全息光栅场的一维高精度移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统全息光路中引入参考光栅，使两束相干光产生同轴干涉，通过测量该干涉信号的周期变化，实现对全息光栅场的高精度在线测量，同时通过准直透镜的二维移动实现全息光栅周期的高精度在线调节。 | ||
| 搜索关键词： | 全息光栅 高精度在线测量 参考光栅 调节装置 干涉信号 光栅场 光路 同轴 激光干涉仪系统 双光束全息干涉 高精度移动台 光电探测器 测量位移 传统全息 二维移动 扫描全息 在线调节 周期变化 准直透镜 相干光 干涉 测量 采集 引入 | ||
【主权项】：
1.一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，其特征在于，所述的装置包括：双光束全息干涉光路，用于产生高密度的光栅条纹场，调节干涉场的光栅周期和波面，并能够实现精密的周期调节；参考光栅(9)，用于将两束光的某个衍射级次重合，产生同轴干涉，从而形成稳定的干涉场；光电探测器(11)，用于接收干涉场的光强信息；激光干涉仪(13)和反射镜(14)，用于高精度测量移动平台的位移；高精度一维移动平台(12)，用于实现参考光栅(9)与光电探测器(11)以及激光干涉仪(13)和反射镜(14)的移动；同步控制、数据采集与处理系统，用于控制光电探测器(11)采集强度信息，高精度一维移动平台(12)的一维运动以及激光干涉仪(13)的位移测量始终保持同步，并通过数字处理计算光栅周期，在高精度一维移动平台(12)运动过程中，光电探测器(11)记录的信息为周期性变化的光强，光强明暗变化次数为N，激光干涉仪(13)测量得到的位移为L，则计算得到全息光栅周期为P＝L/N。
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