[发明专利]图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器的形成方法，通过将光电二极管布线与二极管结构连接，通过外部电路控制二极管结构将光电二极管内的光生载流子及时导出，解决图像拖尾问题。该图像传感器的形成方法包括以下步骤：提供三个或三个以上垂直堆叠的光电二极管；形成与其中一个光电二极管耦合的二极管结构，二极管结构包括沿垂直方向邻接设置的第一掺杂区域和具有与第一掺杂区域相反掺杂类型的第二掺杂区域，其中，光电二极管耦合至第一掺杂区域；形成与第二掺杂区域耦合的金属互连结构。

主权项

1.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：提供三个或三个以上垂直堆叠的光电二极管；形成与其中一个所述光电二极管耦合的二极管结构，所述二极管结构包括沿垂直方向邻接设置的第一掺杂区域和具有与所述第一掺杂区域相反掺杂类型的第二掺杂区域，其中，所述光电二极管耦合至所述第一掺杂区域；形成与所述第二掺杂区域耦合的金属互连结构。