[发明专利]一种基于纳米孔的超弹性颗粒剪切模量检测装置及方法在审

专利信息
申请号: 201811322829.8 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN109459373A 公开(公告)日: 2019-03-12
发明(设计)人: 周腾;葛鉴;吉祥;史留勇;汝绍峰;张先满;邓鲁豫 申请(专利权)人: 海南大学
主分类号: G01N15/10 分类号: G01N15/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 570228 海南省*** 国省代码: 海南;46
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摘要: 发明公开了一种基于纳米孔的超弹性颗粒剪切模量检测装置及方法,该检测装置主要由硅基衬底的两个微腔及连接微腔的纳米孔和电流检测回路构成。检测时,颗粒在静电场的作用下穿过纳米孔。同时利用电流检测回路测量颗粒穿过纳米孔时的微弱电流变化,进而利用数据解析出颗粒的剪切模量。
搜索关键词: 纳米孔 检测装置 剪切模量 电流检测回路 超弹性 微腔 穿过 测量颗粒 数据解析 微弱电流 硅基衬 静电场 检测
【主权项】:
1.一种基于纳米孔的超弹性颗粒剪切模量检测装置及方法,其特征在于,该检测装置是以微腔‑固态纳米孔‑微腔结构为核心的检测装置,具体包括置于电解液(7)中的硅基衬底(2),在硅基衬底(2)上下两侧刻蚀的两个圆柱形微腔(3)、(6),采用离子束轰击的方式将两个微腔(3)、(6)打通制作的一个纳米孔(4),绝缘层(1)包裹在硅基衬底(2)外表面;所述微腔‑固态纳米孔‑微腔结构将检测装置分为上下两个部分,置于装置上部的外接电极(11)接正电位,置于装置下部的外接电极(8)接负电位,外接电极(8)、(11)与电流检测设备(10)以及电源(9)构成电流检测回路。
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