[发明专利]一种含银复合膜的蚀刻液组合物及蚀刻方法在审
| 申请号： | 201811323201.X | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109266352A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;邵勇;承明忠;陈林;顾玲燕;殷福华;朱龙;赵文虎 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C23F1/30 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含银复合膜的蚀刻液组合物，按重量百分比计，其主要组成为4～9％的硝酸、45～55％的磷酸、8～15％的乙酸、0.1～5％的无机铵盐和20～30％的水，还包括重量百分比不大于5％的C4～C6脂肪族羟基酸，脂肪族羟基酸结构通式中与羧基相连的α位碳原子上含有羟基和H取代基。酸性蚀刻体系中，基于相同的无机酸浓度，α‑羟基酸的加入有助于降低银层的蚀刻速度，减小蚀刻液组合物对银和ITO的蚀刻速率差，改善顶层ITO坍塌，基板铝布线表面银单质吸附量少，满足后期镀膜要求，蚀刻产品良率提高。本发明还公开了一种含银复合膜蚀刻液组合物的蚀刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 蚀刻液组合物 复合膜 含银 脂肪族羟基酸 重量百分比 乙酸 产品良率 镀膜要求 结构通式 酸性蚀刻 无机铵盐 铝布线 速率差 碳原子 无机酸 吸附量 银单质 羟基酸 硝酸 顶层 磷酸 基板 减小 银层 羟基 羧基 坍塌 | ||
【主权项】：
1.一种含银复合膜的蚀刻液组合物，其特征在于，按重量百分比计，其主要组成为4～9％的硝酸、45～55％的磷酸、8～15％的乙酸、0.1～5％的无机铵盐和20～30％的水，还包括重量百分比不大于5％的C4～C6脂肪族羟基酸，脂肪族羟基酸结构通式中与羧基相连的α位碳原子上含有羟基和H取代基。
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