[发明专利]高精度空间平动微定位平台

摘要

本发明提供了一种高精度空间平动微定位平台，其能解决现有集中柔度式微定位平台运动行程小，容易出现应力集中，平台定位精度低的问题。其包括基座、动平台和三个柔性支链，柔性支链的柔性移动副包括两组对称布置的柔性簧片，同组中的两个柔性簧片互相平行，主动副中同组的两个柔性簧片通过刚性连接件一连接，第一被动副和第二被动副结构相同，其两组柔性簧片的一端共同连接在刚性连接件二上，另一端共同连接在刚性连接件三上；主动副的刚性连接件一固接在基座上，柔性簧片和压电陶瓷驱动器分别与第一被动副的刚性连接件二连接；第一被动副的刚性连接件三与第二被动副的刚性连接件二连接，第二被动副的刚性连接件三与动平台固接。

主权项

1.一种高精度空间平动微定位平台，其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链呈正交布置，所述柔性支链的两端分别固接在所述基座和所述动平台上，所述基座上还安装有分别用于驱动所述柔性支链的压电陶瓷驱动器，其特征在于：所述柔性支链包括三个柔性移动副且分别为主动副、第一被动副和第二被动副，所述柔性移动副包括两组对称布置的柔性簧片，同组中的两个所述柔性簧片互相平行，所述主动副中同组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件一连接；所述第一被动副和所述第二被动副的结构相同，且其两组所述柔性簧片的一端共同连接在刚性连接件二上，另一端共同连接在刚性连接件三上；所述主动副通过所述刚性连接件一固接在所述基座上，且其两组所述柔性簧片的另一端和所述压电陶瓷驱动器分别与所述第一被动副的所述刚性连接件二连接，所述第一被动副的所述刚性连接件三与所述第二被动副的所述刚性连接件二连接，所述第二被动副的所述刚性连接件三与所述动平台固接；所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副中的所述柔性簧片的变形方向正交。