[发明专利]具有透明玻璃基底的涡卷微压缩机及其相关加工方法

摘要

具有透明玻璃基底的涡卷微压缩机及其相关加工方法，属于压缩机技术领域。该装置首次在涡卷式微压缩机设计中引入了欧丹环结构，并通过优化动涡盘基板设计减少动涡盘质量；针对静电驱动电压在涡卷壁上的损耗问题改进了孔洞形状设计。提出通过改变内表面亲水性质来防止顶端泄露与方便压缩腔的毛细作用填充的方案。在工艺实现方面，本发明包含了基于透明玻璃基底的涡卷微压缩机的详细工艺流程，包括透明玻璃基底的动涡盘的加工方法、优化形状的动涡盘基板释放工艺方法和透明基底定涡盘的加工方法。该发明装置在微制冷器压缩机，微真空压缩机，微全分析系统的精确微量进样控制和药物递送系统等广泛的领域具有应用前景。尤其适用于需要通过透明基底对压缩样品进行光学显微观察的应用。