[发明专利]高精度大行程空间平动微定位平台

摘要

本发明提供了一种高精度大行程空间平动微定位平台，其能解决现有集中柔度式微定位平台容易出现应力集中，且难以保证在高精度的前提下实现毫米级的大行程的问题。其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个柔性支链呈正交布置，柔性支链的两端分别固接在基座和动平台上，基座上还安装有分别用于驱动柔性支链的音圈电机驱动器，柔性支链包括主动副、第一被动副和第二被动副；主动副、第一被动副和第二被动副均由对称设置的复合型柔性移动副组成，复合型柔性移动副包括两组柔性簧片且同组的两个柔性簧片互相平行，柔性簧片之间通过刚性连接件连接。

主权项

1.一种高精度大行程空间平动微定位平台，其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链呈正交布置，所述柔性支链的两端分别固接在所述基座和所述动平台上，其特征在于：所述基座上还安装有分别用于驱动所述柔性支链的音圈电机驱动器，所述柔性支链包括主动副、第一被动副和第二被动副；所述主动副、第一被动副和第二被动副均由对称设置的复合型柔性移动副组成，所述复合型柔性移动副包括两组柔性簧片且同组的两个所述柔性簧片互相平行，第一组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件一连接，第二组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件二连接，两组所述柔性簧片的另一端同向设置并通过刚性连接件三连接；所述主动副的所述刚性连接件一固接在所述基座上，所述主动副的所述刚性连接件二和所述音圈电机驱动器分别连接在所述第一被动副的所述刚性连接件一上，所述第一被动副的所述刚性连接件二连接在所述第二被动副的所述刚性连接件一上，所述第二被动副的所述刚性连接件二与所述动平台固接；所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副中的所述柔性簧片的变形方向正交。