[发明专利]一种非极性图形化AlN/蓝宝石复合衬底及其制备方法有效
| 申请号： | 201811324994.7 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109545933B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 张雄;陈帅;赵见国;崔一平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/00;H01L21/86 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 沈进 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种非极性图形化AlN/蓝宝石复合衬底及其制备方法，其结构包括r面图形化蓝宝石衬底、蓝宝石图形、掩膜层和AlN覆盖层，蓝宝石图形是r面图形化蓝宝石衬底的一部分，为非对称的圆锥或棱锥结构，即朝向[1101]晶向倾斜，该结构可从而有效解决非极性III族氮化物外延生长过程中沿不同方向生长速率不同而导致晶体质量难以提高的问题。同时，AlN覆盖层是蓝宝石衬底在NH |
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| 搜索关键词： | 一种 极性 图形 aln 蓝宝石 复合 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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