[发明专利]一种用于制备高导电率薄膜的铝基合金在审
| 申请号： | 201811325813.2 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109295349A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 黄华凛;李明麟;孙耀明;徐华毕;柳锡运;黄启章;曹子宜;刘呈燕;王泉河;熊斌 | 申请（专利权）人： | 广东迪奥应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22C21/12;H01B1/02 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 王少强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备高导电率薄膜的铝基合金，其包括二元、三元或者四元金属；所述二元金属为铝铜、铝银；所述三元金属为铝钕铜、铝钕银或者铝银铜；所述四元金属为铝钕铜银。本发明除了提升纯铝膜的热学性能、有效的抑制小丘的形成外，还降低了电阻率，提升了铝合金的导电特性，使得布线微型化发展更进一步。 | ||
| 搜索关键词： | 铝钕 高导电率 铝基合金 铝银 制备 薄膜 微型化 金属 导电特性 二元金属 热学性能 三元金属 纯铝膜 电阻率 铝合金 布线 铝铜 铜银 小丘 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备高导电率薄膜的铝基合金，其特征在于，包括二元、三元或者四元金属；所述二元金属为铝铜、铝银；所述三元金属为铝钕铜、铝钕银或者铝银铜；所述四元金属为铝钕铜银。
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