[发明专利]一种微机电换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811326697.6 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109449280B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;王可军;张俊秋;刘林鹏;宋洪烈;陈道兵;孙涛;张斌杰;王大凯;孟宪存 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/25;H01L41/31 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;朱阳波 |
| 地址： | 130012 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电换能器及其制备方法，所述微机电换能器包括：固化层，所述固化层上设置有若干个裂纹和若干个压敏元件，所述压敏元件位于所述裂纹的尖端应力场中。由于将压敏元件设置在裂纹的尖端应力场中，并利用微振动时，裂纹受力变形导致裂纹尖端应力场内应力急剧放大，将应力信号高效的转化为电信号，从而提高了微机电换能器的机电转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 电换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电换能器，其特征在于，包括：固化层，所述固化层上设置有若干个裂纹和若干个压敏元件，所述压敏元件位于所述裂纹的尖端应力场中。
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