[发明专利]光学传递函数的检测方法及系统有效
申请号: | 201811329266.5 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN109540473B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 曾飞;何锋赟;赵楠;胡玥;刘韬;董健 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明适用光学检测技术领域,提供了一种光学传递函数的检测方法及系统;本发明的光学传递函数检测方法首先通过检测系统获得光学系统点扩散函数的卷积,然后通过反卷积的算法获得光学系统的点扩散函数,再通过点扩散函数的傅里叶变换最终得到系统的光学传递函数;与刀口法相比,该方法使用点扩散函数而非线扩散函数计算光学传递函数,具有更加准确的优点;与显微测量方法相比,该方法由于无需使用显微镜,减小了设备体积、降低检测成本等优点。 | ||
搜索关键词: | 光学 传递函数 检测 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种光学传递函数的检测方法,其特征在于,所述方法包括下述步骤:S1.获得光学系统的点扩散函数的卷积;S2.对所述点扩散函数的卷积进行反卷积的运算,获得所述点扩散函数;S3.对所述点扩散函数进行傅里叶变换得到所述光学系统的光学传递函数。
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