[发明专利]瞬态电压抑制器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811329679.3 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111180526B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 祁树坤;刘钰;王国鹏;袁广睿;马永健;陆浩;陈晖;李静;刘奕国 | 申请（专利权）人： | 无锡力芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种瞬态电压抑制器及其制造方法，瞬态电压抑制器包括：衬底；外延层，其位于衬底的上表面，外延层的杂质类型与衬底的杂质类型相反；多个深槽，所述深槽自所述外延层的上表面贯穿外延层并延伸至衬底内，多个深槽沿外延层的上表面依次间隔排布；杂质层，其位于衬底中的深槽的侧壁或底部，杂质层的杂质类型与衬底的杂质类型相反；绝缘介质，其填充于形成有杂质层的深沟槽内。与现有技术相比，本发明基于瞬态电压抑制器的深槽隔离结构，在衬底中的深槽的底部或侧壁处，形成深度不同的杂质层，这些杂质层与衬底形成一个或多个P‑N结面，从而不仅可以优化瞬态电压抑制器的雪崩击穿特性，而且可以有效降低瞬态电压抑制器的寄生电容。 | ||
| 搜索关键词： | 瞬态 电压 抑制器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡力芯微电子股份有限公司，未经无锡力芯微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811329679.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：偏光旋转装置及投影装置
- 下一篇：发动机系统以及车辆
- 同类专利
- 专利分类
