[发明专利]柔性应变传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201811330471.3 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111174685B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 潘曹峰;鲍容容;李静 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 101400 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性应变传感器，包括：衬底；以及金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在衬底上；其中，所述衬底的厚度为10μm‑25μm。根据本发明公开的应变传感器，金属薄膜层可以快速灵敏地对外界应变进行响应，而且采用厚度为10μm‑25μm的衬底具有更优异的机械顺从性，从而对于应变刺激具有更高的灵敏度，能够快速灵敏地对应变刺激进行响应。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 应变 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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