[发明专利]一种原子层沉积二硫化钨软涂层刀具及其制备方法在审
| 申请号： | 201811331570.3 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109161868A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 吴泽;刘磊;邢佑强;黄鹏 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/30;C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 曾教伟 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于金属切削工具制造技术领域，涉及一种原子层沉积二硫化钨软涂层刀具及其制备方法。该软涂层刀具结构包括基体和表面二硫化钨软涂层，基体材料为硬质合金刀具材料，表面二硫化钨软涂层是通过原子层沉积的方法获得，涂层材料与基体材料存在部分弱化学键结合，涂层与基体材料的结合强度较高。该原子层沉积二硫化钨软涂层刀具是通过基体材料表面酸腐去钴、钨源和硫源原子层沉积等工艺制备而成。该刀具可广泛应用于难加工金属材料的干式切削加工，原子层沉积可克服传统软涂层与基体结合强度薄弱的弊端，显著提高刀具的润滑使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 原子层沉积 二硫化钨 软涂层刀具 基体材料 软涂层 制备 刀具 硬质合金刀具材料 难加工金属材料 干式切削加工 基体材料表面 金属切削工具 工艺制备 弱化学键 使用寿命 涂层材料 硫源 钨源 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种原子层沉积二硫化钨软涂层刀具，其特征在于：刀具结构包括基体和表面二硫化钨软涂层，基体材料为硬质合金刀具材料，表面二硫化钨软涂层是通过原子层沉积的方法获得，涂层材料与基体材料存在部分弱化学键结合，涂层与基体材料的结合强度较高。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
