[发明专利]一种单晶硅透镜的超精密车削加工方法在审
| 申请号： | 201811335649.3 | 申请日： | 2018-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN109622991A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 袁航;铁贵鹏;兰洁;周如好;朱力敏;朱蓓蓓;陆波;郭凌曦 | 申请（专利权）人： | 上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00;B28D1/16;B28D7/04;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 圣冬冬 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种单晶硅透镜的超精密车削加工方法，其步骤包括：(1)采用多孔质石墨材料经车削后做成分段仿形的真空吸盘，在实现稳定装夹的情况下，尽量减小透镜的真空吸附变形，更有利于得到高的加工面形精度；同时，多孔质石墨材料柔软且不易起毛刺，不会刮伤单晶硅表面，更有利于避免已加工表面划痕和麻点的产生；(2)采用超声振动切削技术，使切削状态由连续切削变为断续切削，从而降低切削力和切削温度，增加金刚石刀具寿命；(3)采用水基切削液，并混入纳米氧化物球状颗粒，使其进入前刀面和切屑接触区域，将部分滑动摩擦转变为滚动摩擦，进一步降低切削力和切削温度，增加金刚石刀具寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 切削 单晶硅 超精密车削 多孔质石墨 金刚石刀具 切削力 加工 毛刺 超声振动切削 单晶硅表面 纳米氧化物 水基切削液 断续切削 滚动摩擦 滑动摩擦 加工表面 接触区域 连续切削 球状颗粒 真空吸附 真空吸盘 前刀面 车削 仿形 刮伤 划痕 混入 减小 麻点 面形 切屑 装夹 柔软 分段 变形 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅透镜的超精密车削加工方法，用来对弯月形的单晶硅透镜进行超精密车削加工，实现光学级别的面形精度和表面粗糙度，其特征在于，包括如下步骤：(1)采用多孔质石墨材料经车削后做成分段仿形的真空吸盘的装夹方式；(2)采用超声振动切削技术进行车削加工；(3)采用水基纳米球状颗粒悬浮切削液进行润滑。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海航天控制技术研究所，未经上海航天控制技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811335649.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
