[发明专利]清洁装置及半导体设备在审
| 申请号： | 201811336243.7 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111167810A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李生骄;董佳仁 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/047 | 分类号： | B08B9/047;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洁装置及半导体设备。半导体设备包括制程腔室、支路排气管路及清洁装置；制程腔室上设置有排气口；支路排气管路一端与制程腔室的排气口相连通；清洁装置用于对支路排气管路进行清洁作业，清洁装置与支路排气管路远离排气口的一端相邻设置，其中，毛刷朝向支路排气管路，通过伸缩杆的伸缩带动毛刷在支路排气管路内移动以对支路排气管路的不同位置进行清洁作业。本发明的清洁装置和半导体设备可以有效避免支路排气管路上的溶剂颗粒残留，可以减少设备停机时间，有助于生产良率和设备产出率的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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