[发明专利]一种可提高硅棒生长质量的硅烷热分解炉

摘要

本发明公开了一种可提高硅棒生长质量的硅烷热分解炉，包括底盘、钟罩、反应尾气出口管和底盘，底盘上方设有一套或数套硅烷分布器，硅烷分布器由一进气环管和多对分布环管组成，硅烷分布器的上方设有对应的一个或多个硅棒水冷夹套；本发明采用整体的硅棒水冷夹套来调节和控制硅棒反应区气相温度，该夹套顶部具有圆环凸台，该圆环凸台高于硅桥，使硅桥部分也处于冷却保护之中，相比于单个冷却夹套，硅棒顶部质量能得到保证；本发明采用喷气口环形分布的硅烷分布器使硅烷气相分布均匀，生成的硅棒上下圆度一致，保证了产品的几何尺寸均一的要求；本发明采用硅棒水冷夹套和硅烷分布器一体结构，简化了单个夹套的复杂结构，便于拆卸和清洗。

主权项

1.一种可提高硅棒生长质量的硅烷热分解炉，包括底盘和配套设于底盘上端的钟罩，底盘中心设有自带水冷夹套的穿过底盘的反应尾气出口管，反应尾气出口管下端设有反应尾气冷却水进水口和反应尾气冷却水出水口，钟罩为下端一侧设有钟罩冷却水进水口且上端设有钟罩冷却水出水口的夹套结构，钟罩上设有上、下两个视镜，底盘为由上层顶板、中间层隔板和下层底板组成的双层中空结构，双层中空结构的上层为底盘冷却水流动空间，双层中空结构的下层为硅烷气相空间，其特征在于：底盘上方设有与硅烷气相空间气路相连的一套或数套硅烷分布器，硅烷分布器由一进气环管和多对分布环管组成，硅烷分布器通过进气环管与硅烷气相空间气路相连，多对分布环管均匀分布于进气环管的外侧且管路相连，多对分布环管一一对应安装于底盘上的多对硅棒设置且硅棒位于分布环管的正中心，分布环管的内侧均匀分布有三个喷气口；硅烷分布器的上方设有对应的一个或多个硅棒水冷夹套，硅棒水冷夹套外形大致为轴心挖空的中间部分高周围部分低的阶梯状圆柱体结构，中间高的部分横截面为一小圆环，周围低的部分横截面为一大圆环被多个硅棒同心圆切割后留下的不规则平面，硅棒水冷夹套的小圆环底部均匀分布有多对硅棒水冷夹套进水口，硅棒水冷夹套的小圆环顶部均匀分布有多对硅棒水冷夹套出水口且多对硅棒水冷夹套出水口与多对硅棒水冷夹套进水口在垂直方向上均匀交错分布。