[发明专利]多段式解析度称重装置在审
| 申请号： | 201811339046.0 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109183153A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;洪天河;张本义;刘崇志;钟其龙 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了多段式解析度称重装置，在机台上设有升降台，升降台的升降托座上并排放置四对压力电阻，共8个压力电阻，晶杆托座通过调整螺丝安装架设在压力电阻的顶部，晶杆吊杆安装在晶杆托座上，每一对压力电阻的2个压力电阻并联，四对压力电阻串联后再与电脑联接，在不同称重的区间采用不同数量的压力电阻来分多段测量重量，并通过压力电阻将信号传送至电脑进行多段式解析。本发明是利用四组8个压力电阻组成的称重系统，使系统在不同的称重区间有着不同的解析度，在小重量区间时其解析度高，随称重量增大解析度会分四阶段降低，以满足到长晶过程中在不同重量区间其对测量解析度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 压力电阻 解析度 多段式 晶杆 升降台 称重装置 称重 托座 测量 并排放置 称重系统 吊杆安装 调整螺丝 升降托座 信号传送 并联 多段 在机 电脑 联接 串联 解析 架设 | ||
【主权项】：
1.多段式解析度称重装置，其特征在于：在机台上设有升降台，升降台的升降托座上并排放置四对压力电阻，共8个压力电阻，晶杆托座通过调整螺丝安装架设在压力电阻的顶部，晶杆吊杆安装在晶杆托座上，每一对压力电阻的2个压力电阻并联，四对压力电阻串联后再与电脑联接，在不同称重的区间采用不同数量的压力电阻来分多段测量重量，并通过压力电阻将信号传送至电脑进行多段式解析。
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