[发明专利]一种面发射激光器、面发射激光器阵列及光学扫描装置在审
| 申请号： | 201811340019.5 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109167255A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 佟存柱;陆寰宇;田思聪;汪丽杰;舒世立;张新;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面发射激光器，所述面发射激光器包括光子晶体区域，所述光子晶体区域包括具有孔洞的光子晶体，所述孔洞的刻蚀周期、刻蚀深度及刻蚀半径满足产生的激光频率位于所述光子晶体能带中简并的Γ2位置；所述光子晶体为三角晶格构成的矩形光子晶体；所述光子晶体内部的光子晶体腔及反馈区形成的耦合反馈腔，产生谐振的方向相同。本发明通过调整光子晶体与反馈区，使上述光子晶体腔和上述耦合反馈腔的谐振方向相同，因此可以在不借助现有技术中上下匹配的布拉格反射镜的情况下，实现高功率单模面发射输出，避免了布拉格反射镜制备过程中复杂的键合与外延生长工艺。本发明还提供了一种具有上述有益效果的面发射激光阵列和光学扫描装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光子晶体 面发射激光器 孔洞 布拉格反射镜 光学扫描装置 光子晶体区域 耦合反馈 刻蚀 面发射激光阵列 外延生长工艺 反馈 谐振 激光频率 刻蚀周期 三角晶格 谐振方向 制备过程 高功率 面发射 单模 简并 键合 匹配 输出 | ||
【主权项】：
1.一种面发射激光器，其特征在于，所述面发射激光器包括光子晶体区域，所述光子晶体区域包括具有孔洞的光子晶体，所述孔洞的刻蚀周期、刻蚀深度及刻蚀半径满足产生的激光频率位于所述光子晶体能带中简并的Γ2位置；所述光子晶体为三角晶格构成的矩形光子晶体；所述光子晶体内部的光子晶体腔及反馈区形成的耦合反馈腔，产生谐振的方向相同。
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