[发明专利]多层阻变存储器的温度分布测试方法有效
| 申请号： | 201811344613.1 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109470377B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 雷登云;黄云;王力纬;侯波;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层阻变存储器的温度分布测试方法，包括：获取阻变存储器的堆叠层数；设定目标层的测试顺序；按照测试顺序选取目标层；在目标层上选取多个目标单元构成目标集合；利用脉冲信号对目标集合内的各目标单元进行初始化，将目标集合内的各目标单元设定为高阻态或者低阻态；分别记录目标集合内的各目标单元的初始电阻值；对阻变存储器的各层重复上述步骤；对阻变存储器的各层进行温度分布测量，构建各层的温度分布模型。本发明能够有效地推断存储器内部层的温度分布，提高了温度分布分析的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 存储器 温度 分布 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层阻变存储器的温度分布测试方法，其特征在于，包括：S1：获取阻变存储器的堆叠层数；S2：设定目标层的测试顺序；S3：按照测试顺序选取目标层；S4：在目标层上选取多个目标单元构成目标集合；S5：利用脉冲信号对目标集合内的各目标单元进行初始化，将目标集合内的各目标单元设定为高阻态或者低阻态；S6：分别记录目标集合内的各目标单元的初始电阻值；S7：对阻变存储器的各层重复步骤S3至S6；S8：对阻变存储器的各层进行温度分布测量，构建各层的温度分布模型。
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