[发明专利]全自动非晶制程抛光系统的工作方法在审
| 申请号： | 201811348184.5 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109333367A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 肖迪 | 申请（专利权）人： | 江苏利泷半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B49/10;B24B29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全自动非晶制程抛光系统的工作方法，本工作方法包括：测量陶瓷盘上蜡贴的非晶片的厚度信息；依据所述厚度信息以对非晶片进行抛光；本发明实现了自动化进行抛光的功能，克服了传统的需要人工测量、记录，对需抛光的非晶片进行人工判别抛光厚度的问题，节省了人力、物力，并且提高了抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 非晶片 厚度信息 抛光系统 非晶 制程 上蜡 测量陶瓷 抛光效率 人工测量 传统的 自动化 记录 | ||
【主权项】：
1.一种抛光系统的工作方法，其特征在于，包括：测量陶瓷盘上蜡贴的非晶片的厚度信息；依据所述厚度信息以对非晶片进行抛光。
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