[发明专利]用于制备光学镜片的真空镀膜机在审
申请号: | 201811349160.1 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN109440079A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 骆得胜 | 申请(专利权)人: | 武汉力诚光学仪器有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 武汉华强专利代理事务所(普通合伙) 42237 | 代理人: | 邹黎黎 |
地址: | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了用于制备光学镜片的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体底部的四角均固定连接有支撑柱,所述真空镀膜机本体的底部连通有沉降管,所述沉降管的底部固定连接有粉尘收集箱,所述粉尘收集箱的顶部与沉降管的底部相连通,所述沉降管内壁的顶部设置有自密封机构,所述沉降管右侧的底部连通有真空管。本发明通过自密封机构能够实时对沉降管进行密封,同时再通过烘干回收机构将粉尘收集箱内部的靶材粉尘进行烘干回收使用,解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题,该用于制备光学镜片的真空镀膜机,具备靶材粉尘可回收的优点,缩减了生产成本,提高了节能生产效率。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜机 沉降管 粉尘收集箱 光学镜片 制备 自密封机构 底部连通 靶材 烘干 粉尘 真空管 顶部设置 粉尘回收 回收机构 节能生产 可回收 支撑柱 内壁 生产成本 密封 回收 | ||
【主权项】:
1.用于制备光学镜片的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体(1),其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(2),所述真空镀膜机本体(1)的底部连通有沉降管(3),所述沉降管(3)的底部固定连接有粉尘收集箱(4),所述粉尘收集箱(4)的顶部与沉降管(3)的底部相连通,所述沉降管(3)内壁的顶部设置有自密封机构(5),所述沉降管(3)右侧的底部连通有真空管(6),所述真空镀膜机本体(1)底部的右侧设置有安装座(7),所述安装座(7)的顶部固定连接有真空泵(8),所述真空泵(8)的输出端与真空管(6)的右侧相连通,所述粉尘收集箱(4)的内部设置有烘干回收机构(9),所述真空管(6)内部的左侧固定连接有防尘棉(10),所述防尘棉(10)的左侧设置有过滤网(11),所述过滤网(11)的表面与真空管(6)的内壁固定连接,所述真空镀膜机本体(1)的底部固定连接有水箱(12),所述水箱(12)的底部连通有水管(13),所述水管(13)远离水箱(12)的一端贯穿沉降管(3)并延伸至沉降管(3)的内部连通有喷淋管(14),所述喷淋管(14)的左侧连通有喷雾头(15)。
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