[发明专利]纳米金属平面尖光学探测器有效

专利信息
申请号: 201811349627.2 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN109781251B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 信钊炜;魏东 申请(专利权)人: 黑芝麻国际控股有限公司
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;H01L31/108;B82Y20/00;B82Y40/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 景怀宇
地址: 美国加*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种纳米金属平面尖光学探测器,包括半导体光学探测器和纳米阵列掩模,所述纳米阵列掩模限定连接到光学探测器的多个多边形孔,其中半导体光学探测器探测由纳米阵列掩模聚焦的近场光。
搜索关键词: 纳米 金属 平面 光学 探测器
【主权项】:
1.一种纳米金属平面尖光学探测器,包括:半导体光学探测器;和纳米阵列掩模,所述纳米阵列掩模限定连接到所述光学探测器的多个多边形孔,其中所述半导体光学探测器探测由所述纳米阵列掩模聚焦的近场光。
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