[发明专利]一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置在审
| 申请号： | 201811350848.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109283806A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 肖宪书;马小飞 | 申请（专利权）人： | 蚌埠高华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G02F1/13 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 黄景燕 |
| 地址： | 233000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，涉及LCD显示技术领域。本发明中：第一固定边板上固定在设有第二伸缩动力装置；第二伸缩动力装置的输出轴上设有第二伸缩连杆；第二伸缩连杆的端侧固定连接有第二支撑横板；第二支撑横板上装设有若干均匀分布的加热装置和若干温度传感装置。本发明通过传送带板将ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置下方；通过在加热装置上设置的加热环板，能够有效提升光刻胶接收的热量，并通过靠近加热环板的温度传感探头对加热环板附近的温度进行监测，便于光刻胶加热受热控制，同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体，通过抽气管头抽离出去，从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻胶 加热环板 加热装置 坚膜 伸缩动力装置 调控装置 伸缩连杆 支撑横板 受热 烘焙 温度传感探头 温度传感装置 板上固定 玻璃基板 光刻胶层 传送带 固定边 输出轴 抽离 抽气 管头 加热 传输 释放 监测 加工 | ||
【主权项】：
1.一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：包括第一固定边板（1），所述第一固定边板（1）的两端侧都固定连接有第二固定边板（2）；所述第二固定边板（2）上固定装设有第一伸缩动力装置（3）；所述第一伸缩动力装置（3）的输出轴上设有第一伸缩连杆（4）；所述第一伸缩连杆（4）的端侧固定连接有第一阻隔连板（6）；所述第二固定边板（2）上固定装设有边侧定位框架（5）；所述第一伸缩连杆（4）、第一阻隔连板（6）活动穿过边侧定位框架（5）；包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板（7）；所述第一固定边板（1）上固定在设有第二伸缩动力装置（8）；所述第二伸缩动力装置（8）的输出轴上设有第二伸缩连杆（9）；所述第二伸缩连杆（9）的端侧固定连接有第二支撑横板（10）；所述第二支撑横板（10）上装设有若干均匀分布的加热装置（11）和若干温度传感装置（12）；所述第一固定边板（1）上固定装设有一对抽气动力装置（15）；所述第二固定边板（2）上固定装设有第三伸缩动力装置（13）；所述第三伸缩动力装置（13）的输出轴上设有第三伸缩连杆（14）；所述第三伸缩连杆（14）的端侧固定装设有抽气管头（21）；所述抽气管头（21）与抽气动力装置（15）之间通过抽气软连管（16）相连通。
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