[发明专利]掰片机构

摘要

本发明公开了一种掰片机构，涉及硅片掰片领域，包括掰片侧吸盘、面吸盘、气缸和支架机构；所述支架机构包括两块支撑板、底板、气缸固定板和气缸连接板；所述掰片侧吸盘安装在两块支撑板之上；所述气缸固定板安装在两块支撑板侧边；所述气缸安装在气缸固定板上；所述面吸盘通过气缸连接板与气缸连接；本发明的掰片机构掰片侧吸盘采用布诺力吸盘原理吸附真空，吸附流量大，保证硅片贴合紧密，降低掰片过程中的碎片率，碎片率控制在0.01％‑0.04％之间；掰片侧吸盘和面吸盘互相配合，保证掰片受力均匀；气缸驱动面吸盘上下移动，使得掰片效率高，节拍快，可以达到3000PCS/H。

主权项

1.一种掰片机构，包括掰片侧吸盘(10)、面吸盘(20)、气缸(30)和支架机构；其特征在于：所述支架机构包括两块支撑板(40)、底板(70)、气缸固定板(50)和气缸连接板(60)；所述掰片侧吸盘(10)安装在两块支撑板(40)上侧；所述气缸固定板(50)安装在两块支撑板(40)侧边；所述气缸(30)安装在气缸固定板(50)上；所述面吸盘(20)通过气缸连接板(60)与气缸(30)连接。