[发明专利]单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置

摘要

单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。

主权项

1.一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法，单频激光干涉仪中包含：至少一个能够提供单频激光的光源；光路，所述光路中包括：分光镜、第一反射镜和第二反射镜，其中，所述分光镜适于将所述单频光源分为参考光束和测量光束，所述第一反射镜适于反射所述参考光束，所述第二反射镜适于反射所述测量光束；至少一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射镜反射得到的参考光束与所述第二反射镜反射得到的测量光束干涉形成的；其特征在于，所述方法包括：步骤一：将至少一个螺旋相位板放置于单频激光干涉仪的光路中，所述螺旋相位板适于改变所述参考光束与所述测量光束之间的相位差；步骤二：通过至少一次旋转至少一个所述螺旋相位板，使得所述参考光束与测量光束之间的相位差产生连续的变化；步骤三：提取所述干涉信号的特征参数；步骤四：利用所提取到的特征参数，对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正。