[发明专利]一种用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜及其制备方法

摘要

一种用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜及其制备方法，属于表面处理技术及模具表面强化技术领域。该纳米多层结构薄膜包括金属TiAl底层、TiAlN过渡层、TiAlN/CrTiAlN纳米多层涂层、CrTiAlN表面涂覆层。其方法为：抛光后超声清洗，进行真空气相沉积，真空度8×10‑3Pa，温度为250‑350℃，依次沉积金属TiAl底层，TiAlN过渡层，交替沉积保持严格调制周期的TiAlN/CrTiAlN纳米多层涂层和CrTiAlN表面涂覆层。制备出的具有合适的调制周期和调制比的多层涂层，应用在高速钢上制备耐磨和耐高温的硬质涂层上，可明显提高模具的耐磨损性能，与未涂层强化模具比较使用寿命提高20倍以上。

主权项

1.一种用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜，其特征在于，该用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜包括金属TiAl底层、TiAlN过渡层、TiAlN和CrTiAlN交替设置的TiAlN/CrTiAlN纳米多层涂层、CrTiAlN表面涂覆层。