[发明专利]半导体制程自动化控制方法及装置有效
| 申请号： | 201811353775.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111190393B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例提出一种半导体制程自动化控制方法及装置、电子设备和计算机可读存储介质，属于半导体技术领域。该半导体制程自动化控制方法包括：获取目标机台的当前制程的目标控制模型以及所述目标控制模型采用的目标权重和参考的目标样本数；根据所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数获得所述目标机台的当前制程的初始建议制程参数；获取并根据所述目标机台的当前制程的环境数据和当前累积已制程晶圆数量调整所述当前制程的初始建议制程参数，获得所述目标机台的当前制程的目标建议制程参数。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 自动化 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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