[发明专利]三角形微棱镜旋转式SPR测试光学芯片在审

专利信息
申请号: 201811355088.3 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN109490278A 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 苑立波;韦柳夏;冯程成;杨宏艳 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 541004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明属于光学传感和材料工程领域,具体涉及的是一种可用于生物传感、医学诊断、药品研发及食品安全等领域的三角形微棱镜旋转式SPR测试光学芯片。三角形微棱镜旋转式SPR测试光学芯片由直角三角形微棱镜光学基片、纳米金属膜、谐振增强膜及基底组成,具有成本低、微型化、易集成、可规模化生产及传感系统芯片易更换等优点,克服了传统SPR传感检测技术操作复杂、成本高等缺点。其调制方式为:将芯片固定于旋转平台上,沿着垂直于直角三角形微棱镜光学基片非直角面的中心轴转动旋转平台,实现改变芯片入射光的入射角,实现对产生SPR现象的激发光入射角度的高分辨率调制。该角度调制相较于传统的角度调制方式,其SPR共振角的测量精度可以提高数倍。
搜索关键词: 微棱镜 芯片 测试光学 旋转式 直角三角形 光学基片 角度调制 旋转平台 激发光入射角 微型化 规模化生产 纳米金属膜 中心轴转动 材料工程 传感检测 传感系统 调制方式 高分辨率 光学传感 基底组成 技术操作 生物传感 食品安全 谐振增强 芯片固定 药品研发 医学诊断 传统的 非直角 共振角 入射光 入射角 可用 调制 测量 垂直
【主权项】:
1.一种三角形微棱镜旋转式SPR测试光学芯片,由直角三角形微棱镜光学基片、纳米金属膜、谐振增强膜及基底组成;其特征在于:(1)将预制棒热熔拉制成直角三角形石英或玻璃微棒,然后采用抛磨技术对直角三角形石英或玻璃微棒的非直角面进行抛磨,再将直角三角形石英或玻璃微棒切割成适当长度,即制得直角三角形微棱镜光学基片;(2)在直角三角形微棱镜光学基片抛光面上制备适当厚度的纳米金属膜,构成SPR传感结构;(3)然后在纳米金属膜表面沉积或生长谐振增强膜,得到灵敏度增强的SPR传感结构;(4)最后将灵敏度增强的SPR传感结构集成在竖直方向有直角三角形凹槽的透光性良好的基底中心;就构成了该三角形微棱镜旋转式SPR传感芯片。
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