[发明专利]D形微柱镜旋转式SPR传感芯片在审
| 申请号： | 201811355120.8 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109490279A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 苑立波;韦柳夏;冯程成;杨宏艳 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种D形微柱镜旋转式SPR传感芯片，属于光学传感领域和材料工程领域，具体涉及的是药品研发、疾病控制及食品安全等领域。一种D形微柱镜旋转式SPR传感芯片，由D形微柱镜光学基片、纳米金属膜、谐振增强膜及基底组成。其调制方式为：将芯片固定于旋转平台上，沿着垂直于D形微柱镜光学基片平面的中心轴转动旋转平台，实现改变芯片入射光的入射角，实现对产生SPR现象的激发光入射角度的高分辨率调制。本发明的优势在于，该芯片具有成本低、微型化、易集成、可规模化生产及传感系统芯片易更换等优点，克服了传统SPR检测技术操作复杂、成本高等缺点，并且相较于传统的角度调制方式，该芯片的调制方式可以使SPR共振角的测量精度提高数倍。 | ||
| 搜索关键词： | 微柱 传感芯片 旋转式 芯片 调制方式 光学基片 旋转平台 激发光入射角 微型化 规模化生产 纳米金属膜 中心轴转动 材料工程 传感系统 高分辨率 光学传感 基底组成 疾病控制 检测技术 角度调制 食品安全 谐振增强 芯片固定 药品研发 传统的 共振角 平面的 入射光 入射角 调制 测量 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种D形微柱镜旋转式SPR传感芯片，由D形微柱镜光学基片、纳米金属膜、谐振增强膜及基底组成；其特征在于：(1)将预制棒热熔拉制成D形石英或玻璃微棒，然后采用抛磨技术对D形石英或玻璃微棒的侧面进行抛磨，再将D形石英或玻璃微棒切割成适当长度，即制得D形微柱镜光学基片；(2)在D形微柱镜光学基片抛光面上制备适当厚度的纳米金属膜，构成SPR传感结构；(3)然后在纳米金属膜表面沉积或生长谐振增强膜，得到灵敏度增强的SPR传感结构；(4)最后将灵敏度增强的SPR传感结构集成在竖直方向有D形凹槽的透光性良好的基底中心；就构成了该D形微柱镜旋转式SPR传感芯片。
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