[发明专利]一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811355670.X | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109402564B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;林伟;张姣姣;侯翔;阎兵;刘艳梅 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 王海滨 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层及其制备方法，将清洗后的待镀膜硬质合金放置于镀膜机内，进行辉光清洗；然后开启Cr靶，弧源电流调节为90A，调节脉冲偏压分别在‑800V、‑600V、‑400V、‑200V下各轰击清洗2min；通入氩气50sccm，氮气200sccm，调节脉冲偏压为‑100V，沉积CrN金属氮化物过渡层20min；关闭Cr靶，开启两个AlCrSi靶，电流为90A，氩气50sccm，氮气600sccm，温度加热为450℃，先设置偏压从80V至200V梯度增长，沉积AlCrSiN涂层90min；后通入氧气20sccm，偏压从200V至80V梯度下降，沉积AlCrSiON涂层90min。本发明研制的纳米复合涂层具有较高的硬度、韧性、耐磨性，与基体具有较高的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 alcrsin alcrsion 双层 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层，其特征在于：在硬质合金基体上依次沉积有CrN过渡层、AlCrSiN涂层和AlCrSiON涂层。
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