[发明专利]散热结构、带散热结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201811355751.X | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111193490A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 孙晨;庞慰;张孟伦;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和散热结构，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述散热结构包括散热部以及与散热部相连的热引出部，所述热引出部位于所述有效区域之外，所述热引出部与所述有效区域的边缘区域热接触且适于向散热部传导来自所述有效区域的热量。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器，一种具有该滤波器的电子设备，一种半导体器件的散热结构。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 结构 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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