[发明专利]带断裂结构体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201811355760.9 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111193482A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;刘伯华;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和钝化层，设置在顶电极上方，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域，所述钝化层邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方设置有至少一个第一断裂结构。本发明还涉及一种具有上述谐振器滤波器，一种具有该滤波器的电子设备，以及一种制造该体声波谐振器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 断裂 结构 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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