[发明专利]一种无线缆式双向扫描装置在审
| 申请号： | 201811358472.9 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109270805A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴剑威;温众普;崔继文;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开一种无线缆式双向扫描装置；通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动，消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响，同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向，并最终通过结合反馈控制，达到双向扫描的目的。本发明可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。 | ||
| 搜索关键词： | 双向扫描 往复直线运动 磁钢模块 反馈控制 气浮结构 线圈驱动 线缆 支承 | ||
【主权项】：
1.一种无线缆式双向扫描装置，包括基座(1)、扫描运动部件(2)和上盖(3)；其特征在于：所述基座(1)包括外壳(5)、串行线圈(6)和气浮工作台(7)，外壳(5)上加工有卡槽(9)，串行线圈(6)安装在卡槽(9)的两侧，气浮工作台(7)安装外壳(5)上，在气浮工作台(7)上安装有若干枚孔形节流器(8)，各孔形节流器(8)间加工有微型直槽(10)；所述扫描运动部件(2)包括扫描板(11)、L型桥架(12)和阵列磁钢模块(13)，扫描板(11)和阵列磁钢模块(13)均固连在L型桥架(12)上，阵列磁钢模块(13)安装有光栅尺(14)和阻尼器(15)，L型桥架(12)上安装有气浮滑板(16)；所述上盖(3)上安装有读数头(4)，读数头(4)的安装位置与光栅尺(14)对应；所述扫描运动部件(2)可移动的装配在基座(1)上，其中阵列磁钢模块(13)装配在串行线圈(6)和气浮工作台(7)之间，L型桥架(12)装配在气浮工作台(7)上方；所述串行线圈(6)配合阵列磁钢模块(13)驱动扫描运动部件(2)进行往复直线运动，气浮工作台(7)配合气浮滑板(16)对扫描运动部件(2)进行支承导向，读数头(4)配合光栅尺(14)对扫描运动部件(2)进行位置测量。
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