[发明专利]一种大面积层数可控的石墨烯与六方氮化硼异质结的制备方法在审
| 申请号： | 201811358576.X | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109402605A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈珊珊;应豪;刘雯雨 | 申请（专利权）人： | 中国人民大学 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/26;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;吴爱琴 |
| 地址： | 100872 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备层数可控的石墨烯与六方氮化硼异质结的方法，包括：在金属薄膜衬底催化下通过化学气相沉积法在金属薄膜衬底表面制备六方氮化硼，在气流上游处放置的另一金属材料的远程催化下通过化学气相沉积法在制备出的六方氮化硼表面形成石墨烯。所述金属材料为与所述金属薄膜衬底材料相比具有较高硼氮溶解度或具有较高比表面积的金属材料。本发明制备方法中在生长衬底附近放置金属材料，可原位制备出大面积层数可控的石墨烯与六方氮化硼的异质结。金属衬底表面先被一定层数的六方氮化硼覆盖后，失去化学催化活性后，其表面无法继续催化生长石墨烯。此时预先放置的金属材料，能持续提供催化，从而在六方氮化硼表面生长出石墨烯。 | ||
| 搜索关键词： | 六方氮化硼 石墨烯 金属材料 制备 催化 金属薄膜 可控的 异质结 化学气相沉积 衬底 表面生长 表面形成 衬底表面 衬底材料 持续提供 化学催化 原位制备 金属衬 溶解度 生长 高硼 上游 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种制备石墨烯与六方氮化硼异质结的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：在金属薄膜衬底催化下通过化学气相沉积法在金属薄膜衬底表面制备六方氮化硼，在气流上游处放置的另一金属材料的远程催化下通过化学气相沉积法在制备出的六方氮化硼表面形成石墨烯，从而实现石墨烯与六方氮化硼异质结的原位制备。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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