[发明专利]极紫外线成像工具的液滴产生器在审
| 申请号： | 201811359602.0 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109782550A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 赖韦志;张汉龙;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 极紫外线成像工具的液滴产生器包括熔化的金属的贮槽、及具有连接至贮槽的第一末端及相对的第二末端的喷嘴，此相对的第二末端为熔化的金属液滴从喷嘴排出之处。进气口连接至喷嘴，且隔离阀位于喷嘴的第二末端，此隔离阀配置以将喷嘴与周遭隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 熔化 液滴产生器 成像工具 极紫外线 隔离阀 贮槽 进气口连接 金属液滴 喷嘴排 隔离 金属 配置 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外线成像工具的液滴产生器，包括：熔化的金属的一贮槽；一喷嘴，具有连接至该贮槽的一第一末端及相对的一第二末端，且多个熔化的金属液滴经由该第二末端从该喷嘴排出；一进气口，连接至该喷嘴；以及一隔离阀，位于该喷嘴的该第二末端，配置以将该喷嘴与周遭隔离。
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