[发明专利]一种纳米金属间化合物储氢材料的制备方法在审
| 申请号： | 201811359671.1 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109234695A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张怀伟;傅力 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良;李欣玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米金属间化合物储氢材料的制备方法。本发明的方法以高纯金属靶材作为溅射源，高纯氩气作为离子溅射气体进行多靶磁控反应共溅射，其特征在于，溅射过程中保证样品台以一定频率发生振动，溅射源金属离子发生合金化反应形成纳米颗粒沉积至样品台，得到纳米金属间化合物储氢材料，并通过样品台底部带有磁场的加热装置进行退火。本发明具有工艺简单，流程短，无污染，可控性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 储氢材料 纳米金属 样品台 溅射源 制备 磁控反应共溅射 退火 高纯金属靶材 合金化反应 高纯氩气 加热装置 金属离子 离子溅射 纳米颗粒 频率发生 可控性 多靶 溅射 沉积 磁场 保证 | ||
【主权项】：
1.一种纳米金属间化合物储氢材料的制备方法，该方法以高纯金属靶材作为溅射源，高纯氩气作为离子溅射气体进行多靶磁控反应共溅射，其特征在于，溅射过程中保证样品台以一定频率发生振动，溅射源金属离子发生合金化反应形成纳米颗粒沉积至样品台，然后通过样品台底部带有磁场的加热装置进行退火，得到纳米金属间化合物储氢材料。
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