[发明专利]一种阵列孔空心阴极放电离子源

摘要

本发明公开了一种阵列孔空心阴极放电离子源，包括基座、阳极栅网、磁体、绝缘组件、进气座、阵列孔板，其中进气座及阵列孔板为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间以及阳极栅网与基座之间形成电位绝缘；阵列孔板为设置有多个阵列贯通孔的金属板，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，多个阳极栅网装配在基座上，磁体套装在基座上，放电产生的电子在电磁场作用下与工艺气体碰撞形成阳离子，多个阳极栅网既可以吸收电子又可以加速阳离子，实现高能离子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应在电磁场作用下汇聚射出高能离子，为真空涂层工艺过程提供高能离子。

主权项

1.一种阵列孔空心阴极放电离子源，其特征为：其包括基座、阳极栅网、磁体、绝缘组件、进气座、阵列孔板，其中进气座及阵列孔板为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间以及阳极栅网与基座之间形成电位绝缘；其中基座可通过螺栓及绝缘垫装配固定在真空腔室上实现真空密封及基座的电位悬浮，基座为焊机结构件，内含冷却水道，可对基座进行冷却；磁体套装在基座上，可在基座上滑动；进气座为焊接结构件，内含冷却水道，其通过螺栓固定在基座上，并通过绝缘套实现电位悬浮，阵列孔板为金属放电板，其上机械加工有阵列贯穿孔，阵列贯穿孔线径较小，可在一定真空度下产生空心阴极放电；多个阳极栅网装配在基座上，并通过绝缘密封垫实现真空密封及电位悬浮；放电组件在一定真空度时会产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，电子在阵列孔板电场及阳极电场及磁体的作用下向基座出口处螺旋运动，运动过程中与工艺气体发生碰撞，电子运动过程中被阳极栅网吸收，同时等离子体中的阳离子被阳极栅网加速，从而向基座出口处射出大量高能离子。