[发明专利]基于热电子放电的潘宁离子源

摘要

本发明公开了一种基于热电子放电的潘宁离子源，其包括：热丝电极组件、放电腔、绝缘套、阳极筒组件、阴极网、加速极、磁极，其主要是通过利用热丝电极组件导电受热后发生热丝放电，并通过阳极筒、阴极网之间形成潘宁放电，电子在放电腔及阳极筒内受电场及磁场的作用下实现往复式运动，电子的运动行程被极大的拉长，其有效碰撞次数指数性增大，并受加速极的加速向真空腔室内输出大束流粒子流，其中热丝电极组件及放电腔内设置有三个水冷腔，可高效冷却热丝放电过程中产生的热量；本发明具有以下优点和效果：本发明通过将潘宁放电与热丝放电相结合，实现均匀稳定的放电且可具有更好的冷却效果，提高离子源的长时间高效稳定性。

主权项

1.一种基于热电子放电的潘宁离子源，包括热丝电极组件（11）、放电腔（12）、阳极筒组件（13）、磁极（14）、阴极网（15）、加速极（16）、绝缘座（17）；其中热丝电极组件（11）包括放电钨丝（110）、钨丝固定套（111）、钨丝座（112）、进水管（113）、接线板（114）、钨丝座绝缘座（115）、钨丝座压盖（116），进水管（113）及钨丝座（112）形成第一冷却腔（101）；放电腔（12）包括固定座（121）及放电座（122），热丝电极组件（11）通过带有绝缘套的螺栓将钨丝座压盖（116）、钨丝座绝缘座（115）及钨丝座（112）固定在固定座（121）上，固定座（121）与放电座（122）通过螺栓禁锢形成放电腔（12），并可通过带有绝缘套的螺栓与绝缘套（17）及阳极筒组件（13）禁锢，固定座（121）设置有第二冷却腔（102），放电座（122）设置有第三冷却腔（103）；阳极筒组件（13）包括连接板（131）、阳极筒（132），阳极筒（132）通过密封圈与连接板（131）实现真空密封及禁锢，连接板（131）通过绝缘套（17）禁锢在放电座上，阳极筒（132）上套装磁极（14），阴极网（15）及加速极（16）套装在阳极筒上的安装孔，其包括电极绝缘套（105）、电极（106）、栅网（107），栅网（107）固定在电极（106）上，电极（106）通过电极绝缘套（105）及带有绝缘套的螺栓禁锢在阳极筒（132）的安装孔上。