[发明专利]一种阵列多孔空心阴极放电电子源

摘要

本发明公开了一种阵列多孔空心阴极放电电子源，包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环，其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；阵列多孔板为放电金属板，其上设置有多个阵列贯通孔，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；磁体套装在基座上，空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应及阴极环吸收阳离子并在磁场下汇聚射出电子，为真空涂层工艺过程提供高能电子。

主权项

1.一种阵列多孔空心阴极放电电子源，其特征为：其包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环；其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；其中基座可通过螺栓固定在真空腔室上并实现真空密封，基座为焊接结构件，内含冷却水道，可对基座进行冷却；磁体套装在基座上，并可实现在基座上的滑动；进气座为焊接结构件，内含冷却水道，其通过螺栓固定在基座上，并通过绝缘套实现电位悬浮，阵列多孔板通过螺栓固定在进气座上，阵列多孔板、绝缘盖及进气座形成进气腔，可实现放电工艺气体的均匀分布，其中绝缘盖可实现放电过程中进气座的内表面的绝缘；阵列多孔板为金属放电板，其上机械加工有阵列贯穿孔，阵列贯穿孔线径较小，可在一定真空度下产生空心阴极放电；阴极环装配在阵列多孔板上，绝缘环将阵列多孔板及阴极环与基座之间实现电位悬浮；放电组件在一定真空度时会产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。